AFM探针的重要组成部分是针尖、悬臂和基底。探针材料通常是单晶硅或氮化硅(Si3N4)，其中一些可以有其他涂层(金或铝等)。背面涂层有助于提高悬臂反射和反射激光束的检测效率。其次，涂层可以赋予探针铁磁性或电性。

除了材料选择外，长度、宽度、弹性系数和刀尖的曲率半径和形状也非常重要。如果探头太硬，可能会损坏样品，如果探头太软，可能会导致机械模量数据不准确。探头越尖，分辨率就越高，但是过于尖会损坏样品表面，容易磨损。如果探头不够细，它可能无法探测到样品的深槽或区分更详细的表面结构。此时，建议使用钝针尖，针尖的形状也会对结果产生一定的影响。因此，在实际应用中，探头的质量直接影响成像结果，需要根据实际情况选择不同类型和规格的探头。

为了实现快速的数据传输速率，高导电铂涂层可以沉积在硅探针上，悬臂阵列需要以100mms-1的速度移动。高速摩擦磨损、高载荷和高温是该技术的主要障碍。一个重要的问题是探针尖端在高达630的温度下每秒几十毫米的相对高速滑动接触的耐久性。

基于AFM探针的记录优势。薄膜中铁电类的成像利用了铁电体的基本特性，即其压电行为和表面电荷的存在。AFM探M探针的应用范围仅限于原子力显微镜，应用领域不广，在国际上使用不多，属于高科技仪器的消耗品。主要制造商位于德国等地。由于探测器寿命短、分辨率低、不稳定、一致性差，各国都在开发新的探测器。